空氣凈化方法和潔凈室的控管項(xiàng)目
潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
潔凈室 每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5uM及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
潔凈室控管項(xiàng)目
1、能除去空氣中飄游之微塵粒子。 2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。
3、溫度和濕度之控制。 4、壓力之調(diào)節(jié)。 5、 有害氣體之排除。
6、結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。 7、靜電之防制。 8、電磁干擾預(yù)防。
9、安全因素之考慮。 10、節(jié)能之考量。
潔凈室空氣凈化方法
1 、整體凈化:可分為層流型和湍流型。層流是指空氣由一側(cè)全面地以同速流向另一側(cè),使室內(nèi)產(chǎn)生的塵?;蚣?xì)菌不會向四周擴(kuò)散而被平推出室外,而達(dá)到好的除菌效果。
( 1 )高效過濾除菌技術(shù):空氣潔凈主要靠高效或超高效過濾設(shè)備,向特定的環(huán)境內(nèi)輸送潔凈空氣并能保持空氣的潔凈度。過濾潔凈原理:①網(wǎng)截阻留;②篩孔阻留;③靜電吸引阻留;④慣性碰撞和布朗運(yùn)動阻留。因此,過濾潔凈技術(shù)是一種綜合作用的結(jié)果。
( 2 )濾材結(jié)構(gòu):生物潔凈室所用濾材級別多數(shù)為高效或超高效濾材,所用濾材有:玻璃棉制濾材、高級紙漿制濾材、石棉纖維濾材、過氯乙烯纖維濾材等。高效濾材對空氣中 0.5 μ m 的顆粒的阻留率能達(dá)到 90%~99% ,超高效濾材可阻留 0.3 μ m 的顆粒 99.9% 以上。
2 、局部凈化
( 1 )潔凈層流罩:潔凈層流罩是醫(yī)院局部空氣凈化裝置。一般可構(gòu)成垂直層流方式,四周用透明圍幕。整個(gè)罩內(nèi)可保持高潔凈度(萬級至百級)空氣。這種潔凈層流罩可用于免疫功能低下病人的治療保護(hù),所以也稱無菌病床層流罩。
( 2 )凈化操作臺:采用水平或垂直層流方式凈化箱體內(nèi)的空氣,可使操作臺內(nèi)凈化達(dá)到很高級別。
( 3 )靜電吸附除菌凈化技術(shù):靜電吸附除菌是利用工業(yè)電除塵的原理,在小型化技術(shù)方面有所創(chuàng)新。①采用細(xì)線放電極與蜂巢狀鋁箱收集極形成級線裝置;②采用鏡象力荷電吸附作用。
目前有一種三級凈化裝置,即預(yù)過濾 - 高效過濾 - 活性炭吸附,組合式正離子靜電吸附除菌,并采用大風(fēng)量空氣凈化,以保證室內(nèi)空氣凈化次數(shù),較好地解決了醫(yī)院重點(diǎn)部門如手術(shù)室、 ICU 、母嬰病房、血液透析室等有人情況下的空氣持續(xù)消毒問題,可使醫(yī)院室內(nèi)空氣的凈化潔凈度達(dá)到 10 萬級 ~1 萬級。
( 4 )負(fù)離子凈化技術(shù):負(fù)離子是一種帶負(fù)電的化學(xué)基團(tuán),能發(fā)生可逆性變化,存在時(shí)間極短,本身并無殺滅微生物的能力,主要是靠帶電離子與空氣中的微粒特別是微生物顆粒結(jié)合,形成多個(gè)顆粒凝聚變大從而迅速沉降,使空氣達(dá)到凈化的目的??諝庵胸?fù)離子只有在具備某些化學(xué)性質(zhì)時(shí),如活性氧離子等,它們才具有侵害蛋白質(zhì)的能力從而殺滅微生物,因此負(fù)離子對空氣凈化的能力比較有限,對空氣中微生物粒子清除率只能達(dá)到 70%~90% 。
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